现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,石墨坩埚报价,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
坩埚窑炉窑内坯垛阻力的大小,主要取决于码坯的稀密程度和气体通过坯垛通路的远近。坯垛越稀,通路越短,石墨坩埚,则阻力就越小,坯垛越密或通路越长,则阻力就越大。可提高坩埚窑炉窑内生产效率的方法,充分发挥排风设备的抽力作用,可以从两方面入手。一是防止冷风侵入窑内,坩埚炉的预热带和总烟道处于负压区,冷空气很容易从不严密的地方侵入窑内,管式炉与烟气混合后经排烟设备排出窑外。
坩埚红外测量灵敏度高,因为物体的辐射能量与温度的四次方成正比,物体温度微小的变化,就会引起辐射能量较大的变化,红外探测器,即可迅速检测出来。红外温度传感器一般用于探测目标的红外辐射和测定其辐射温度,确定目标的温度采用分离出所需波段的滤光片,石墨坩埚型号,可使仪器工作在任意红外波段。
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